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WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY CO., LTD

Product Display
PEGZ-2L2L-SA8


產(chǎn)品型號 PEGZ-2L2L-SA8
產(chǎn)品名稱
生產(chǎn)工藝 在線管式PECVD裝卸片機(jī)
設(shè)備功能 將經(jīng)過管式PECVD工藝處理后
的石墨舟內(nèi)的硅片自動化取
出裝籃,并將沒經(jīng)過工藝處
理的硅片自動化裝入石墨舟。
適用硅片
單晶/多晶 兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工裝 花籃-石墨舟-舟托-主設(shè)備布局
硅片堆疊盒 花籃下料無堆疊盒,堆疊下料
時為江松自制堆疊盒
設(shè)備運(yùn)行能力
實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) ≥4500片/小時(26片以上舟片的石墨舟,所有的產(chǎn)能都基于
主設(shè)備的產(chǎn)能,主設(shè)備的產(chǎn)能不
足則以主設(shè)備的產(chǎn)能為準(zhǔn))
正常運(yùn)行時間(up time) 98%
平均故障時間(MTBF) MTBF≥300小時
平均故障修復(fù)時間(MTTR) MTTR≤2小時
碎片率 ≤0.08% (單晶A類片,不含主機(jī)碎片)
動力要求
電源 8KW?
史陶比爾:380V三相五線制50HZ???
ABB:220V? 50HZ
壓縮空氣 壓力:06Mpa? 流量:500L/Min?
接口:Ф16軟管
環(huán)境
溫度/濕度 0~35°C? 40%~60%
潔凈度 符合十萬級潔凈區(qū)相關(guān)規(guī)范要求
噪音 ≤60db
設(shè)備結(jié)構(gòu)
整機(jī)重量(單位:噸) 5
外形尺寸(mm) 長7300寬2350高2100(參考)
設(shè)備操作方位 可左可右
硅片通道數(shù)量 4
硅片通道間距 上料間距322mm下料間322mm
對接處花籃離地高 下層450mm上層1160mm