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WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY CO., LTD

Product Display
KTZ-D2-F3B50

產(chǎn)品型號 KTZ-D2-F3B50
產(chǎn)品名稱 石英舟裝卸片機(在線式一拖二)
生產(chǎn)工藝 在線式,擴散(退火)工藝,石英舟裝卸片機
設(shè)備功能 將經(jīng)過工藝處理后的石英舟內(nèi)的硅片自動化取出裝籃,
并將沒經(jīng)過工藝處理的硅片自動化從花籃中取出裝入石英舟
適用硅片
單晶/多晶 單晶多晶兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工裝
石英舟工裝 可定制
花籃工裝 4.76×100槽或4.76×50槽,其他也可根據(jù)石英舟定制。
設(shè)備運行能力
實際運行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) ≥8500片/小時
正常運行時間(up time) ≥98%
平均故障時間(MTBF) MTBF≤500小時
平均故障修復(fù)時間(MTTR) MTTR≥1小時
碎片率 ≤0.03% ,A片(不含爐內(nèi)碎、不含本身隱裂、線痕等缺陷片)
動力要求
電源 AC220V,50HZ
功率 8KW
壓縮空氣 0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥12mm
環(huán)境
溫度/濕度 0-35℃,40%-60%
潔凈度 符合十萬級潔凈區(qū)規(guī)范要求
噪音 ≤60db
設(shè)備結(jié)構(gòu)
整機重量 6500KG
外形尺寸(mm) 長×寬×高(4360mm×4600mm×2400mm)
設(shè)備操作方位 面向龍門架,觸摸屏在左側(cè)是左手機,觸摸屏在右側(cè)是右手機
花籃工位 四工位
石英舟工位 雙工位
花籃裝卸方式 人工裝卸:人工裝卸時,手工直接將花籃放置于花籃工作臺。
花籃進出動作可同時進行。
石英舟裝卸方式 機械手自動裝卸