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WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY CO., LTD

Product Display
KSX-4L-10D

產品型號 KSX-4L-10D
產品名稱 刻蝕下料機
生產工藝 在線式、刻蝕工藝
設備功能 將鏈式清洗機中的硅片裝入花籃;下料端可根據需要選配翻片機。
適用硅片
單晶/多晶 單晶多晶兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工裝
花籃工裝 4.76×100槽花籃、可定制
設備運行能力
實際運行產能(凈產能) ≥8000片/小時
正常運行時間(up time) ≥98%
平均無故障時間(MTBF) MTBF≥500小時
平均故障修復時間(MTTR) MTTR≤1小時
碎片率 ≤0.03% ,A片(不含主機碎、不含本身隱裂、線痕等缺陷片)
動力要求
電源 AC220V,50HZ
功率 5KW
壓縮空氣 0.6MPA,主氣路管道直徑≥20mm,連接氣管直徑≥12mm
環(huán)境
溫度/濕度 0-35℃,40%-60%
潔凈度 符合十萬級潔凈區(qū)規(guī)范要求
噪音 ≤60db
設備結構
整機重量 2000KG
外形尺寸(mm) 長×寬×高(4450mm×2250mm×2000mm)
設備操作方位 面向主機觸摸屏,自動化在左側是左手機,反之為右手機。
花籃工位 倆軌×倆側
花籃裝卸方式 人工裝卸:人工裝卸時,手工直接將花籃放置于花籃工作臺;
亦可對接AGV小車。