| 產(chǎn)品型號(hào) | KSS-4L-10D |
| 產(chǎn)品名稱 | 刻蝕上料機(jī) |
| 生產(chǎn)工藝 | 在線式、刻蝕工藝 |
| 設(shè)備功能 | 將花籃中的硅片取出輸入至鏈?zhǔn)角逑礄C(jī)。 |
| 適用硅片 | |
| 單晶/多晶 | 單晶多晶兼容 |
| 外形尺寸 | 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm |
| 厚度 | 160μm-220μm |
| 工裝 | |
| 花籃工裝 | 4.76×100槽花籃、可定制 |
| 設(shè)備運(yùn)行能力 | |
| 實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能） | ≥8000片/小時(shí) |
| 正常運(yùn)行時(shí)間（up time） | ≥98% |
| 平均無故障時(shí)間（MTBF） | MTBF≥500小時(shí) |
| 平均故障修復(fù)時(shí)間（MTTR） | MTTR≤1小時(shí) |
| 碎片率 | ≤0.03% ，A片（不含本身隱裂、線痕等缺陷片） |
| 動(dòng)力要求 | |
| 電源 | AC220V，50HZ |
| 功率 | 5KW |
| 壓縮空氣 | 0.6MPA，主氣路管道直徑≥20mm，連接氣管直徑≥12mm |
| 環(huán)境 | |
| 溫度/濕度 | 0-35℃，40%-60% |
| 潔凈度 | 符合十萬級(jí)潔凈區(qū)規(guī)范要求 |
| 噪音 | ≤60db |
| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | |
| 整機(jī)重量 | 3000KG |
| 外形尺寸（mm） | 長×寬×高（4100mm×2500mm×2000mm） |
| 設(shè)備操作方位 | 面向主機(jī)觸摸屏，自動(dòng)化在左側(cè)是左手機(jī)，反之為右手機(jī)。 |
| 花籃工位 | 倆軌×倆側(cè) |
| 花籃裝卸方式 |
人工裝卸：人工裝卸時(shí)，手工直接將花籃放置于花籃工作臺(tái)； 亦可對(duì)接AGV小車。 |
Su Gong An 32021402000985